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Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm

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Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm

Porcellana Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm fornitore
Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm fornitore Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm fornitore

Grande immagine :  Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm

Dettagli:

Luogo di origine: La Cina
Marca: Newradar
Certificazione: ISO/DOT/GB
Numero di modello: N / A

Termini di pagamento e spedizione:

Quantità di ordine minimo: 1pcs
Prezzo: negotiation
Imballaggi particolari: Cilindro imballato di in10L-50L o imballato secondo le richieste.
Tempi di consegna: 25 giorni lavorativi dopo hanno ricevuto il vostro pagamento
Termini di pagamento: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacità di alimentazione: 500 PCS al mese
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Descrizione di prodotto dettagliata
Nome del prodotto: Miscele del fluoruro dell'argon Rifornimento di carburante: Miscugli di gas dell'argon, del neon e del fluoro
Tipo della valvola: CGA679 Applicazione: Laser a eccimeri
Volume del cilindro: 4-50L o personalizzano Pressione di riempimento: 1800-2000 psig

Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm

 

 

Descrizione:

 

Le miscele del fluoruro dell'argon sono utilizzate nelle 193 applicazioni della litografia di nanometro, solitamente insieme con un miscuglio di gas inerte.

 

Il laser del fluoruro dell'argon è un tipo particolare di laser a eccimeri, che a volte è chiamato un laser del exciplex. Con la sua lunghezza d'onda di nanometro 193, è un laser profondo di ultravioletto, che è comunemente usato nella produzione dei circuiti integrati a semiconduttore, chirurgia dell'occhio, micromachining e ricerca scientifica. L'eccimeri di termine è breve per «il dimero emozionante», mentre il exciplex è breve per «il complesso emozionante». Un laser a eccimeri usa tipicamente una miscela di un gas nobile e un gas alogeno, che nelle circostanze adatte di stimolazione elettrica ed ad alta pressione, emette la radiazione stimolata coerente nella gamma ultravioletta.

 

I laser a eccimeri di ArF sono ampiamente usati in macchine ad alta definizione di fotolitografia, una delle tecnologie critiche richieste per fabbricazione microelettronica del chip. La litografia del laser a eccimeri ha permesso alle feature size del transistor di restringersi da 800 nanometri nel 1990 a 22 nanometri nel 2012.

 

 

Specifiche:

 

1. Proprietà fisiche

 

Merce Gas del fluoruro dell'argon
Formula molecolare ArF
Fase Gas
Colore

Incolore

Classe pericolosa per transort 2,2

 

2. dati tecnici tipici (COA)

 

Componenti importanti
COMPONENTI CONCENTRAZIONE GAMMA
Fluoro 1,0% 0.9-1.0%
L'argon 3,5% 3.4-3.6%
Neon Equilibrio  
Impurità di Maxinum
COMPONENTE CONCENTRAZIONE (ppmv)
Anidride carbonica (CO2) <5>
Monossido di carbonio (CO) <1>
Tetrafluoruro del carbonio (CF4) <2>
Fluoruro (COF2) del carbonilico <2>
Elio (He) <8>
Umidità (H2O) <25>
Azoto (N2) <25>
Trifluoruro dell'azoto (NF3) <1>
Ossigeno (O2) <25>
Tetrafluoruro del silicio (SiF4) <2>
Esafluoruro dello zolfo (SF6) <1>
THC (come metano) (CH4) <1>
Xeno (Xe) <10>

 

3. Pacchetto

 

Specifiche del cilindro Indice Pressione
Cilindro Opzioni dello sbocco della valvola Piedi cubici Litri Psig ANTIVARI
1 CGA679 DISS 728 265 7500 2000 139
2 CGA679 DISS 728 212 6000 2000 139
3 CGA679 DISS 728 71 2000 1800 125

 

Applicazioni:

 

Le miscele del fluoruro dell'argon sono utilizzate nelle 193 applicazioni della litografia di nanometro, solitamente insieme con un miscuglio di gas inerte.

 

Il laser a eccimeri su ordinazione intossica il laser del fluoruro dell'argon per la litografia 193nm

Dettagli di contatto
Wuhan Newradar Special Gas Co.,Ltd

Persona di contatto: Suyee Su

Telefono: +8618602768623

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