Chimica elettronica dei gas di Hexafluorobutadiene C4F6 per incissione all'acquaforte dielettrica critica

Chimica del gas di Hexafluorobutadiene C4F6 per le applicazioni dielettriche critiche incissione all'acquaforte.

Descrizione:

C4F6 è un fluorocarburo insaturo con un legame doppio alternante. È un gas incolore, inodoro, tossico, infiammabile che mostra il rendimento elevato molto per plasma, raggio ionico, o farfugli incisione in dispositivi a semiconduttore che fabbricano con il xeno (Xe) e l'argon (AR) come il trasportatore o gas di diluizione. dovuto la breve vita atmosferica (< 1day="">

Il butadine del ‐ Hexafluoro1,3 è un gas compresso liquefatto tossico, incolore, inodoro, infiammabile.

Il gas C4F6 come gas etchant per alta incisione del foro del contatto di allungamento può essere un buono

alternativa ai gas di PFC.

STABILITÀ E REATTIVITÀ

Applicazioni:

1. Il gas di HFB (C4F6) può usare come agenti di sgrassatura, gas di scappamento che elabora gli impianti di lavaggio

2. Componenti del gas di Hexafluoro-2-butyne per l'attrezzatura di comunicazioni di fibra ottica.

3. È quindi indispensabile per il sistema di elaborazione LSIs ed i dispositivi di memoria ad alta velocità e di grande capacità che sempre più sono utilizzati in apparecchi elettrici digitali e nei display a cristalli liquidi.