Gas della premiscela per il miscuglio di gas di ArF del laser a eccimeri

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Informazioni dettagliate

GAMMA INFIAMMABILE::	Non applicabile	ASPETTO, ODORE E STATO:	Gas incolore con l'odore pungente.
Rifornimento di carburante::	Miscugli di gas dell'argon, del neon e del fluoro	Tipo della valvola::	CGA679
Sbocco della valvola:	Baccano 8

Descrizione di prodotto

Gas della premiscela per il miscuglio di gas di ArF del laser a eccimeri

Descrizione di prodotto

NOME DI PRODOTTO: Meno di 1% F2 IN ARGON, ELIO, CRIPTO, NEON e/o XENO

USO DEL PRODOTTO: In laser a eccimeri

COMPOSIZIONE ed INFORMAZIONI SUGLI INGREDIENTI

	F2
Peso molecolare	38,00
Densità del gas @ 21,1°C (70°F)	0,098 lb/ft3 (1,57 kg/m3)
Punto di ebollizione @ 1 bancomat	-188,2^Oc (- 306,8^di)
Congelamento/punto di Metling @ 1 bancomat	-219,7^Oc (- 363,4^di)
Peso specifico (aria = 1) @ 21.1°C	1,312
(70°F)
Solubilità nel volume dell'acqua/volume a 0°C (32°F)
e 1 bancomat
Volume specifico @ 21,1°C (70°F	10,17 ft3/lb (0,635 m.³/kg)
Pressione critica	756,4 lb/po quadrato ass. (5215 ABS di kPa)
Soglia di odore	0.097-0.19 PPM

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