Gas elettronici incolori di purezza NF3 99.99~99.999% con l'odore ammuffito, punto di ebollizione del °C −129.06

NF3, gas liquido, trifluoruro dell'azoto, 99.99~99.999%, utilizzati nell'industria elettronica

Descrizione:

Il trifluoruro dell'azoto (NF3) è un gas incolore e stabile in condizioni ambiente. Il gas è incombustibile ma può sostenere la combustione. Quando la temperatura è sopra 350℃, il gas si decomporrà lentamente per produrre il fluoro di forte ossidazione e quindi, è un forte ossidante a temperatura elevata.

Gli atomi risultanti del fluoro sono gli agenti di sgrassatura attivi che attaccano il polisiliconico, il nitruro di silicio e l'ossido di silicio. Il trifluoruro dell'azoto può essere usato pure con il siliciuro del tungsteno ed il tungsteno prodotto tramite CVD.

NF3 è stato considerato come un sostituto in condizioni ambientali preferibile per l'esafluoruro dello zolfo o perfluorocarbons quale hexafluoroethane. L'utilizzazione trattata dei prodotti chimici applicati nei processi del plasma è tipicamente inferiore a 20%. Di conseguenza alcuno del PFCs ed anche alcuno sempre della fuga NF3 nell'atmosfera. I sistemi moderni di riduzione del gas possono fare diminuire tali emissioni.

Specifiche:

1. Proprietà fisiche

2. dati tecnici tipici

3. Pacchetto

Cilindro d'acciaio senza cuciture di tonnellata dei cilindri 3AA/GB5099 del PUNTO

Applicazioni:

Il trifluoruro dell'azoto (NF3) è stato ampiamente usato nell'industria elettronica, semiconduttore e l'industria solare ecc. che di fotoelettricità è buona incisione e un gas di pulizia con i vantaggi di nessun rimanere, l'alta velocità di pulizia e facile decomporrsi.